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更新时间:2025-10-24
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在石墨烯、碳纳米管、钙钛矿、MAX相等先进功能材料的CVD制备中,温度均匀性、气氛纯净度、升降温灵活性是成败关键。蓝景科技陶瓷纤维管式马弗炉专为CVD工艺优化,提供高纯石英/陶瓷管+多路气氛系统+真空兼容的一站式解决方案。

工艺适配能力:
🔹 可选高纯气炼石英管或刚玉陶瓷管,耐高温、抗腐蚀,避免金属污染;
🔹 标配/选配多路混气系统(质量流量计精度±1%),精准控制Ar/H₂/N₂/C₂H₂等气体比例;
🔹 可连接真空泵+数显真空计,实现10⁻¹ Pa-级真空环境,满足高纯材料生长需求;
🔹 轻质陶瓷纤维蓄热低,降温速率快,缩短批次间隔,提升设备利用率。
某新材料企业利用该设备开发高导热氮化硼薄膜,通过两温区控温实现前驱体裂解与沉积分离,产品热导率达600 W/m·K,成功应用于5G芯片散热。
蓝景科技陶瓷纤维管式马弗炉,为新材料研发按下“加速键"。