蓝景 LJ-FT50 反射式膜厚测量仪解锁全场景薄膜检测
在半导体、显示面板、光学镀膜、光伏新能源、生物医疗等制造赛道,薄膜厚度直接决定产品良率、光电性能与使用寿命。传统检测设备普遍存在量程割裂、超薄膜测不准、多层膜解析误差大、产线检测效率低、进口设备成本高昂等行业痛点。蓝景科技深耕光学精密检测仪器研发多年,依托自主光学光路与多层膜拟合算法,推出LJ-FT50 系列反射式膜厚测量仪,以宽光谱、超高精度、高速检测、全场景兼容的硬核实力,打造国产化薄膜厚度检测一体化解决方案。
一、核心光学原理:光谱反射干涉无损测厚
蓝景反射式膜厚测量仪以白光光谱干涉法为核心测量原理,宽谱光源经由光纤探头垂直入射待测样品,光线分别在薄膜上表面、薄膜与基底分界面形成两路反射光束,因光程差产生特征干涉光谱。设备内置高速光谱采集模块捕捉完整反射光谱,搭配自研 FFT 傅里叶解析与多维度曲线拟合算法,快速反演计算薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、表面均匀度等关键参数,全程非接触、无耗材、零样品损伤,软光刻胶、超薄氧化层、精密光学镜片等易划伤样品均可安全检测。
二、双机型灵活选型,覆盖全厚度区间
蓝景针对不同工艺需求打造两大主力机型,统一实现 20nm~50μm 超宽连续量程,告别多台设备叠加采购成本:
LJ-FT50UV 氘卤全光谱
搭载氘灯 + 卤素双光源,光谱完整覆盖 190–1100nm 深紫外 - 可见光波段,深紫外波段强化 20nm 极限超薄介质膜信号,适配半导体 SiO₂、Si₃N₄栅极层、多层光学滤光膜、光刻胶叠层等精密场景,可独立分层解析 3 层及以上复合膜系,无波段测量盲区。
LJ-FT50NIR 近红外基础款
400–1700nm 卤素光源,测量区间 50nm–50μm,轻量化探头适配玻璃 AR 镀膜、光伏 SiNₓ减反层、手机盖板涂层、医用防护膜等常规厚膜检测,性价比突出,适配中小实验室与标准化产线质控。